Kòm nou tout konnen, tandans nan devlopman nan teknoloji materyèl sib se pre relasyon ak tandans nan devlopman nan teknoloji fim nan endistri aplikasyon an en.Avèk amelyorasyon teknolojik nan pwodwi fim oswa konpozan nan endistri aplikasyon an, teknoloji sib la ta dwe chanje tou.Pou egzanp, manifaktirè Ic te dènyèman konsantre sou devlopman nan fil elektrik ki ba rezistivite kòb kwiv mete, ki espere siyifikativman ranplase fim nan aliminyòm orijinal nan kèk ane kap vini yo, kidonk devlopman nan sib kòb kwiv mete ak objektif baryè yo mande yo pral ijan.
Anplis de sa, nan dènye ane yo, ekspozisyon panèl plat (FPD) te lajman ranplase tib katòd-ray (CRT) ki baze sou ekspozisyon òdinatè ak mache televizyon.Li pral ogmante tou anpil demann teknik ak mache pou objektif ITO.Apre sa, gen teknoloji depo a.A demand pou gwo dansite, gwo kapasite disques di ak gwo dansite disques effaçable kontinye ap ogmante.Tout bagay sa yo te mennen nan chanjman nan demann lan pou materyèl sib nan endistri aplikasyon an.Nan sa ki annapre yo, nou pral prezante jaden aplikasyon prensipal yo nan sib ak tandans nan devlopman nan sib nan jaden sa yo.
1. Mikwoelektwonik
Nan tout endistri aplikasyon yo, endistri semi-conducteurs a gen kondisyon ki pi sevè kalite pou fim sib sputtering.Silisyòm wafers de 12 pous (300 epistaxis) koulye a te fabriqués.Lajè entèkoneksyon an ap diminye.Kondisyon yo nan manifaktirè wafer Silisyòm pou materyèl sib yo se gwo echèl, pite segondè, segregasyon ki ba ak grenn amann, ki mande pou materyèl sib yo gen pi bon mikrostruktur.Dyamèt patikil cristalline ak inifòmite materyèl sib yo te konsidere kòm faktè kle ki afekte pousantaj depo fim.
Konpare ak aliminyòm, kòb kwiv mete gen pi wo rezistans elektwomobilite ak pi ba rezistans, ki ka satisfè kondisyon ki nan teknoloji kondiktè nan fil elektrik submicron ki anba a 0.25um, men li pote lòt pwoblèm: ba fòs adezyon ant kwiv ak materyèl òganik mwayen.Anplis, li fasil pou reyaji, ki mennen nan korozyon nan entèrkonèksyon an kwiv ak rupture sikwi a pandan itilizasyon chip la.Yo nan lòd yo rezoud pwoblèm sa a, yo ta dwe mete yon kouch baryè ant kwiv la ak kouch dyelèktrik la.
Materyèl sib yo itilize nan kouch baryè a nan entèkoneksyon kòb kwiv mete gen ladan Ta, W, TaSi, WSi, elatriye Men, Ta ak W se metal refractory.Li se relativman difisil fè, ak alyaj tankou molybdène ak chromium yo te etidye kòm materyèl altènatif.
2. Pou ekspozisyon an
Ekspozisyon panèl plat (FPD) te gen anpil enpak sou monitè òdinatè ak mache televizyon ki baze sou katòd-ray tib (CRT) pandan ane yo, epi li pral tou kondwi teknoloji ak demann sou mache a pou materyèl sib ITO.Gen de kalite objektif ITO jodi a.Youn se sèvi ak eta nanomèt nan oksid Endyòm ak poud oksid fèblan apre SINTERING, lòt la se sèvi ak sib alyaj fèblan Endyòm.Fim ITO ka fabrike pa DC reyaktif sputtering sou sib alyaj endyòm-fèblan, men sifas sib la pral oksidasyon ak afekte to a sputtering, epi li difisil jwenn gwo sib alyaj gwosè.
Sèjousi, se premye metòd jeneralman te adopte pou pwodwi ITO sib materyèl, ki se sputtering kouch pa magnetron sputtering reyaksyon.Li gen yon vitès depozisyon rapid.Ka epesè fim nan kontwole avèk presizyon, konduktiviti a wo, konsistans nan fim nan bon, ak Adhesion nan substra a se fò.Men, materyèl sib la difisil pou fè, paske oksid Endyòm ak oksid fèblan pa fasil sintered ansanm.Anjeneral, ZrO2, Bi2O3 ak CeO yo chwazi kòm aditif SINTERING, epi yo ka jwenn materyèl la sib ak yon dansite 93% ~ 98% nan valè teyorik la.Pèfòmans fim ITO ki fòme nan fason sa a gen yon gwo relasyon ak aditif yo.
Rezistivite bloke nan fim ITO jwenn lè l sèvi avèk materyèl sib sa yo rive nan 8.1 × 10n-cm, ki se fèmen nan rezistivite nan fim ITO pi bon kalite.Gwosè a nan FPD ak kondiktif vè se byen gwo, ak lajè a nan glas kondiktif ka menm rive nan 3133mm.Yo nan lòd yo amelyore itilizasyon materyèl sib yo, ITO materyèl sib ak diferan fòm, tankou fòm silendrik, yo devlope.Nan lane 2000, Komisyon Planifikasyon Devlopman Nasyonal la ak Ministè Syans ak Teknoloji enkli gwo sib ITO nan Gid yo pou domèn kle nan endistri enfòmasyon kounye a priyorite pou devlopman.
3. Depo itilize
An tèm de teknoloji depo, devlopman nan gwo dansite ak gwo-kapasite disk difisil mande pou yon gwo kantite materyèl fim repiyans jeyan.Fim konpoze CoF ~ Cu multikouch la se yon estrikti lajman itilize nan fim repiyans jeyan.Materyèl sib alyaj TbFeCo ki nesesè pou disk mayetik toujou nan plis devlopman.Disk la mayetik ki fabrike ak TbFeCo gen karakteristik sa yo nan kapasite depo gwo, lavi sèvis long ak repete ki pa kontak efase.
Antimwàn germanium telluride ki baze sou faz chanjman memwa (PCM) te montre siyifikatif potansyèl komèsyal yo, vin tounen pati NOR flash memwa ak DRAM mache yon teknoloji depo altènatif, sepandan, nan aplikasyon an pi rapid echèl desann youn nan defi yo sou wout la egziste se mank de reset. pwodiksyon aktyèl la ka bese plis inite konplètman sele.Diminye reset aktyèl diminye konsomasyon pouvwa memwa, pwolonje lavi batri a, ak amelyore Pleasant done, tout karakteristik enpòtan nan done-santre, aparèy konsomatè trè pòtab jodi a.
Tan pòs: Aug-09-2022