Nan dènye ane yo, ak pwogrè nan teknoloji sikwi entegre (IC), aplikasyon ki gen rapò ak sikwi entegre yo te rapidman devlope.Ultra segondè pite aliminyòm alyaj sputtering objektif, kòm yon materyèl sipò nan fabrikasyon an nan sikwi entegre metal interconnects, te vin tounen yon sijè ki cho nan rechèch domestik resan.editè a nan RSM pral montre nou karakteristik sa yo nan pite segondè aliminyòm alyaj sputtering sib.
Yo nan lòd yo amelyore plis efikasite nan sputtering nan magnetron sputtering sib epi asire bon jan kalite a nan fim depoze, yon gwo kantite eksperyans montre ke gen sèten kondisyon pou konpozisyon an, mikrostruktur ak oryantasyon grenn nan ultra-wo pite aliminyòm alyaj sputtering sib.
Gwosè grenn ak oryantasyon grenn sib la gen gwo enfliyans sou preparasyon ak pwopriyete fim IC.Rezilta yo montre ke to a depo diminye ak ogmantasyon nan gwosè grenn;Pou sib la sputtering ak menm konpozisyon an, pousantaj sputtering nan sib la ak ti gwosè grenn se pi vit pase sa yo ki nan sib la ak gwosè gwo grenn;Plis inifòm gwosè grenn sib la, plis inifòm distribisyon epesè fim depoze yo.
Anba menm enstriman sputtering ak paramèt pwosesis la, pousantaj sputtering nan sib alyaj Al Cu ogmante ak ogmantasyon dansite atomik, men li jeneralman ki estab nan yon seri.Efè a nan gwosè grenn jaden sou pousantaj sputtering se akòz chanjman nan dansite atomik ak chanjman nan gwosè grenn;Pousantaj depo a afekte sitou pa oryantasyon grenn nan sib alyaj Al Cu.Sou baz asire pwopòsyon (200) kristal avyon, ogmantasyon pwopòsyon (111), (220) ak (311) kristal avyon ap ogmante pousantaj depo a.
Gwosè a grenn ak oryantasyon grenn nan sib alyaj ultra-wo pite aliminyòm yo sitou ajiste ak kontwole pa homogenization ingot, travay cho ak rkristalizasyon rkwit.Ak devlopman nan gwosè wafer a 20.32cm (8in) ak 30.48cm (12in), gwosè sib la ap ogmante tou, ki mete pi devan pi wo kondisyon pou pite ultra-segondè alyaj aliminyòm sib sputtering.Yo nan lòd yo asire bon jan kalite a fim ak sede, paramèt yo pwosesis sib yo dwe estrikteman kontwole fè mikrostruktur sib la inifòm ak oryantasyon an grenn dwe gen fò (200) ak (220) tèkstur avyon.
Tan pòs: Jun-30-2022