Anpil zanmi sou antretyen an nan sib la gen plis oswa mwens kesyon, dènyèman gen tou anpil kliyan konsiltasyon sou antretyen an nan pwoblèm yo ki gen rapò sib, kite editè nan RSM pou nou pataje sou sputtering konesans antretyen sib .
Ki jan yo ta dwe kenbe sib sputter?
1、 antretyen sib
Yo nan lòd yo evite kous kout ak arcing ki te koze pa kavite sal nan pwosesis la sputtering, li nesesè detanzantan retire sputter yo akimile nan mitan an ak tou de bò nan tras la sputtering, ki tou ede itilizatè yo kontinyèlman sputter nan dansite pouvwa segondè.
2 、 Depo sib
Nou rekòmande ke itilizatè yo estoke sib la (si metal oswa seramik) nan anbalaj vakyòm, espesyalman sib la Fitting dwe estoke nan vakyòm pou anpeche oksidasyon nan kouch Fitting afekte bon jan kalite Fitting.Kòm pou anbalaj la nan sib metal, nou sijere ke yo ta dwe chaje nan sache plastik pwòp omwen.
3 、 netwayaj sib
Premye etap la se netwaye ak yon moso twal mou ki tranpe nan asetòn;
Dezyèm etap la sanble ak premye etap la, netwaye ak alkòl;
Etap 3: netwaye ak dlo deyonize.Apre w fin netwaye ak dlo deyonize, yo mete sib la nan dife pou chofe fou a epi li seche nan 100 ℃ pou 30 minit.Li sigjere pou sèvi ak "twal ki pa gen pèl" pou netwaye objektif oksid ak seramik.
Katriyèm etap la se lave sib la ak agon ak presyon ki wo ak imidite ki ba pou retire nenpòt patikil enpur ki ka lakòz arc nan sistèm nan sputtering.
4、 Kout sikwi ak chèk sere
Apre yo fin enstale sib la, tout katòd la bezwen tcheke pou sikwi kout ak sere.Li rekòmande pou jije si gen yon kous kout nan katod la lè l sèvi avèk yon mèt rezistans ak yon megger.Apre konfime ke pa gen okenn kous kout nan katod la, enspeksyon dlo flit ka fèt, epi dlo ka prezante nan katod la pou detèmine si gen flit dlo.
5 、 anbalaj ak transpò
Tout sib yo chaje nan sache plastik vakyòm sele ak ajan imidite-prèv.Pake deyò a se jeneralman bwat an bwa ak kouch anti-kolizyon alantou pwoteje sib la ak backplane kont domaj pandan transpò ak depo.
Tan pòs: 15 jiyè 2022