Materyèl sib Sputtered yo gen gwo kondisyon pandan itilizasyon, pa sèlman pou pite ak gwosè patikil, men tou pou gwosè patikil inifòm.Kondisyon segondè sa yo fè nou peye plis atansyon lè w ap itilize materyèl sib sputtering.
1. Sputtering preparasyon
Li enpòtan anpil pou kenbe pwòpte chanm vakyòm lan, espesyalman sistèm sputtering la.Lubrifyan, pousyè, ak nenpòt rezidi nan kouch anvan yo ka akimile polyan tankou dlo, ki afekte dirèkteman vakyòm nan ak ogmante chans pou echèk fòmasyon fim.Kout kous, sib arcing, sifas ki graj fòme fim, ak twòp enpurte chimik yo anjeneral ki te koze pa chanm sputtering sal, zam, ak sib.
Yo nan lòd yo kenbe karakteristik sa yo konpozisyon nan kouch la, gaz la sputtering (agon oswa oksijèn) dwe pwòp epi sèk.Apre enstale substra a nan chanm sputtering la, lè a bezwen ekstrè pou reyalize nivo vakyòm ki nesesè pou pwosesis la.
2. netwayaj sib
Objektif netwayaj sib la se retire nenpòt pousyè oswa pousyè tè ki ka egziste sou sifas sib la.
3. Enstalasyon sib
Bagay ki pi enpòtan pou peye atansyon a pandan pwosesis enstalasyon materyèl la sib se asire yon bon koneksyon tèmik ant materyèl la sib ak miray ranpa a nan refwadisman nan zam la sputtering.Si miray la refwadisman oswa plak do a gravman defòme, li ka lakòz fann oswa koube pandan enstalasyon an nan materyèl la sib.Transfè chalè a soti nan sib la tounen nan materyèl la sib pral afekte anpil, sa ki lakòz enkapasite a gaye chalè pandan sputtering, finalman mennen nan fann oswa devyasyon nan materyèl la sib.
4. Kout sikwi ak sele enspeksyon
Apre enstalasyon an nan materyèl la sib, li nesesè yo tcheke kous la kout ak sele nan katod a tout antye.Li rekòmande pou sèvi ak yon ohmmeter ak yon megohmmeter pou detèmine si katod la kout sirkwi.Apre konfime ke katod la pa kout sirkwi, yon deteksyon koule ka fèt pa enjekte dlo nan katod la pou detèmine si gen nenpòt flit.
5. Sib materyèl pre sputtering
Li rekòmande pou sèvi ak gaz Agon pi bon kalite pou pre sputtering nan materyèl la sib, ki ka netwaye sifas la nan materyèl la sib.Li rekòmande pou ogmante tou dousman pouvwa a sputtering pandan pwosesis la pre sputtering pou materyèl la sib.Pouvwa a nan materyèl la sib seramik
Lè poste: Oct-19-2023