1, preparasyon pou Sputtering
Li trè enpòtan pou kenbe chanm vakyòm lan, espesyalman sistèm nan sputtering pwòp.Nenpòt rezidi ki fòme pa lwil oliv lubrifyan, pousyè ak kouch anvan yo pral kolekte vapè dlo ak lòt polyan, ki pral dirèkteman afekte degre nan vakyòm ak ogmante posiblite pou echèk fim-fòme.Kout kous oswa sib arcing, sifas fim ki graj ak twòp kontni enpurte chimik yo souvan ki te koze pa chanm sputtering sal, zam sputtering ak sib.Yo nan lòd yo konfòme yo ak karakteristik sa yo konpozisyon nan kouch la, li nesesè netwaye ak seche gaz la sputtering (agon oswa oksijèn).Apre yo fin enstale substra a nan chanm nan sputtering, lè a bezwen yo dwe ekstrè yo rive jwenn vakyòm ki mande pa pwosesis la.Kouvèti pwoteksyon an nan zòn nan fè nwa, miray kavite ak sifas adjasan yo bezwen tou kenbe pwòp.Lè w netwaye chanm vakyòm lan, nou defann lè l sèvi avèk boul vè eksplozif pou trete pati pousyè yo, ansanm ak lè konprese pou retire résidus sputtering byen bonè alantou chanm lan, ak Lè sa a tou dousman poli sifas ekstèn lan ak papye alumina enpreye.Apre polisaj papye twal gaz la, li netwaye ak alkòl, asetòn ak dlo deyonize.Ansanm, li defann itilizasyon aspiratè endistriyèl pou netwayaj oksilyè.Objektif yo ki te pwodwi pa Gaozhan metal yo chaje nan sache plastik vakyòm sele,
Bati nan ajan imidite-prèv.Lè w ap itilize sib la, tanpri pa manyen sib la dirèkteman ak men ou.Remak: lè w ap itilize sib la, tanpri mete gan antretyen pwòp epi san pèl.Pa janm manyen sib la dirèkteman ak men ou
2 、 netwayaj sib
Objektif netwayaj sib la se retire pousyè oswa pousyè tè ki ka egziste sou sifas sib la.
Sib metal la ka netwaye nan kat etap,
Premye etap la se netwaye ak yon moso twal mou ki tranpe nan asetòn;
Dezyèm etap la sanble ak premye etap la, netwaye ak alkòl;
Etap 3: netwaye ak dlo deyonize.Apre lave ak dlo deyonize, mete sib la nan dife pou chofe fou a epi sèk li nan 100 ℃ pou 30 minit.
Netwayaj oksid oksid ak sib seramik yo dwe fèt ak "twal ki san pèl".
Katriyèm etap la se lave sib la ak agon ak presyon ki wo ak gaz dlo ki ba apre yo fin retire zòn nan pousyè, konsa tankou yo retire tout patikil enpurte ki ka fòme arc nan sistèm nan sputtering.
3、 aparèy sib
Nan pwosesis la nan enstalasyon sib, Z prekosyon enpòtan yo se asire yon bon koneksyon kondiksyon tèmik ant sib la ak miray ranpa a nan refwadisman nan zam la sputtering.Si deformation nan baton refwadisman an grav oswa deformation nan plak dèyè a grav, aparèy sib la pral krak oswa koube, epi konduktiviti tèmik soti nan sib la tounen nan sib la pral afekte anpil, sa ki lakòz echèk nan dissipation chalè. nan pwosesis la sputtering, ak sib la pral krak oswa manke
Yo nan lòd yo asire konduktiviti nan tèmik, yon kouch papye grafit ka Matlasye ant miray la refwadisman katod ak sib la.Tanpri peye atansyon a ak anpil atansyon tcheke epi fè klè plat la nan miray la refwadisman nan zam la sputtering itilize asire ke O-bag la toujou an plas.
Depi pwòpte dlo refwadisman yo itilize ak pousyè ki ka rive pandan operasyon ekipman an pral depoze nan tank dlo refwadisman katod la, li nesesè pou tcheke ak netwaye tank dlo refwadisman katod la lè w ap enstale sib la pou asire lis la. sikilasyon dlo refwadisman ak ke inlet la ak priz pa pral bloke.
Gen kèk katod yo te planifye pou gen yon ti espas ak anod la, kidonk lè w ap enstale sib la, li oblije asire ke pa gen okenn manyen oswa kondiktè ant katod a ak anod la, otreman yon kous kout pral rive.
Al gade nan manyèl operatè ekipman pou enfòmasyon sou kijan pou opere sib la kòrèkteman.Si pa gen okenn enfòmasyon sa yo nan manyèl itilizatè a, tanpri eseye enstale aparèy la dapre sijesyon ki enpòtan yo bay Gaozhan metal.Lè w ap sere boulon aparèy sib la, premye sere boulon yon boulon alamen, ak Lè sa a, sere boulon yon lòt boulon sou dyagonal la alamen.Repete sa jiskaske tout boulon yo sou aparèy la sere boulon, ak Lè sa a, sere boulon ak yon bagay.
4、 Kout sikwi ak enspeksyon sere
Apre fini nan aparèy la sib, li oblije tcheke kous la kout ak sere nan katod la antye,
Yo pwopoze pou detèmine si gen yon kous kout nan katod la lè l sèvi avèk yon mèt rezistans
Ranje diskriminasyon.Apre konfime ke pa gen okenn kous kout nan katod la, deteksyon flit ka fèt, epi dlo ka prezante nan katod la konfime si gen flit dlo.
5, sib pre sputtering
Sib pre sputtering defann pi Agon sputtering, ki ka netwaye sifas la nan sib la.Lè sib la pre sputtered, li rekòmande pou ogmante tou dousman pouvwa a sputtering, ak pousantaj ogmantasyon pouvwa a nan sib seramik se 1.5WH / cm2.Vitès la pre sputtering nan sib metal ka pi wo pase sa yo ki nan blòk sib seramik, ak yon pousantaj ogmantasyon pouvwa rezonab se 1.5WH / cm2.
Nan pwosesis la nan pre sputtering, nou bezwen tcheke arcing la nan sib la.Tan an pre sputtering se jeneralman apeprè 10 minit.Si pa gen okenn fenomèn arcing, kontinyèlman ogmante pouvwa a sputtering
Pou mete pouvwa a.Dapre eksperyans, pouvwa a akseptab Z segondè sputtering nan sib metal se
25watts / cm2, 10watts / cm2 pou sib seramik.Tanpri gade nan baz anviwònman an ak eksperyans nan presyon chanm vakyòm pandan sputtering nan manyèl operasyon sistèm itilizatè a.Anjeneral, li ta dwe asire ke tanperati dlo a nan priz dlo refwadisman yo ta dwe pi ba pase 35 ℃, men Z li enpòtan asire ke sistèm sikilasyon dlo refwadisman an ka travay efektivman.
Sikilasyon an rapid nan dlo supercooling wete chalè, ki se yon garanti enpòtan asire kontinyèl sputtering ak gwo pouvwa.Pou sib metal, li jeneralman defann ke koule dlo a refwadisman se
20lpm presyon dlo se sou 5gmp;Pou objektif seramik, li jeneralman defann ke koule dlo a se 30lpm ak presyon dlo a se sou 9gmp.
6、 antretyen sib
Yo nan lòd yo anpeche kout sikwi ak arcing ki te koze pa kavite sal nan pwosesis la sputtering, li nesesè yo retire sputter la akimile nan sant la ak tou de bò nan tras la sputtering nan etap,
Sa a tou ede itilizatè yo kontinyèlman sputter nan z gwo dansite pouvwa
7 、 Depo sib
Objektif yo bay metal Gaozhan yo pake nan sache plastik vakyòm doub-kouch.Nou defann ke itilizatè yo kenbe objektif yo, kit metal oswa seramik, nan anbalaj vakyòm.An patikilye, objektif lyezon yo bezwen estoke anba kondisyon vakyòm pou anpeche oksidasyon kouch lyezon an afekte bon jan kalite lyezon an.Ak konsiderasyon anbalaj la nan sib metal, nou defann ke Z ta dwe pake nan sache plastik pwòp
Tan poste: Me-13-2022