Fim nan mens sou sib la kouvwi se yon fòm materyèl espesyal.Nan direksyon espesifik epesè, echèl la piti anpil, ki se yon kantite mikwoskopik mezirab.Anplis de sa, paske nan aparans la ak koòdone nan epesè fim, kontinwite materyèl fini, ki fè done yo fim ak done sib gen diferan pwopriyete komen.Ak sib la se sitou itilize nan magnetron sputtering kouch, edither Beijing Richmat a pral pran nou konprann. prensip la ak ladrès nan sputtering kouch.
一 、 Prensip sputtering kouch
Sputtering kouch konpetans se sèvi ak ion bonbadman aparans sib, atòm yo sib yo frape soti nan fenomèn nan ke yo rekonèt kòm sputtering.Atòm yo depoze sou sifas la nan substra a yo rele sputtering coating.Generally, gaz ionizasyon ki pwodui pa egzeyat gaz, ak iyon yo pozitif bombast sib la katod nan gwo vitès anba aksyon an nan jaden elektrik, frape soti atòm yo oswa molekil nan la. sib katod, ak vole nan sifas la nan substra a yo dwe depoze nan yon fim.Senpleman pale, sputtering kouch sèvi ak presyon ba gaz inaktif ekla gaz pou jenere iyon.
Anjeneral, ekipman an sputtering fim plating ekipe ak de elektwòd nan yon chanm egzeyat vakyòm, ak sib la katod konpoze de done kouch.Chanm vakyòm lan plen ak gaz Agon ak yon presyon 0.1 ~ 10Pa.Egzeyat lumineux rive nan katod la anba aksyon an nan vòltaj segondè negatif nan 1 ~ 3kV dc oswa rf vòltaj nan 13.56mhz.Iyon Agon bonbade sifas sib la ak lakòz atòm yo sib sputtered akimile sou substra a.
二、Sputtering karakteristik ladrès kouch
1, vit anpile vitès
Diferans ki genyen ant gwo vitès magnetron sputtering elektwòd la ak tradisyonèl de etap sputtering elektwòd la se ke leman an ranje anba sib la, se konsa jaden an fèmen mayetik inegal rive sou sifas la nan sib la 。Fòs la lorentz sou elektwon yo se nan direksyon pou sant la. nan jaden an eterojèn mayetik.Akòz efè konsantre, elektwon yo chape mwens.Jaden mayetik etewojèn ale alantou sifas sib la, ak elektwon segondè yo te kaptire nan jaden mayetik etewojèn fè kolizyon ak molekil gaz yo repete, sa ki amelyore pousantaj konvèsyon segondè nan molekil gaz yo.Se poutèt sa, gwo vitès magnetron sputtering konsome pouvwa ki ba, men. ka jwenn yon gwo efikasite kouch, ak karakteristik egzeyat ideyal.
2、 Tanperati substrate a ba
Gwo vitès magnetron sputtering, konnen tou kòm sputtering tanperati ki ba.Rezon ki fè la se ke aparèy la sèvi ak ekoulman nan yon espas nan jaden elektwomayetik ki dwat youn ak lòt.Elektwon segondè yo ki fèt sou deyò sib la, youn nan lòt.Anba aksyon an nan yon jaden elektwomayetik dwat, li mare tou pre sifas sib la epi li deplase sou pis aterisaj la nan yon liy woule sikilè, repete frape kont molekil gaz yo ionize molekil gaz yo. Ansanm, elektwon yo tèt yo piti piti pèdi enèji yo, atravè repete monte desann, jiskaske enèji yo prèske pèdi nèt anvan yo ka chape soti nan sifas la nan sib la tou pre substra a.Paske enèji elektwon yo tèlman ba, tanperati sib la pa monte twò wo.Sa a ase pou debat monte tanperati a substra ki te koze pa bonbadman elèktron gwo enèji nan yon piki dyod òdinè, ki konplete cryogenization la.
3 、 Yon pakèt estrikti manbràn
Estrikti fim mens yo jwenn nan evaporasyon vakyòm ak depozisyon piki se byen diferan de sa yo jwenn nan eklèsi solid esansyèl.Kontrèman ak solid yo jeneralman ki deja egziste, ki klase kòm esansyèlman menm estrikti nan twa dimansyon, fim yo depoze nan faz gaz la klase kòm estrikti eterojèn.Se kwasans kolonn fim nan ki te koze pa sifas orijinal konvèks substra a ak kèk lonbraj nan pati enpòtan nan substra a.Sepandan, fòm nan ak gwosè kolòn nan yo byen diferan akòz tanperati a substra, dispèsyon nan sifas nan atòm anpile, antèman an nan atòm enpurte ak Ang ensidan an nan atòm ensidan an relatif nan sifas la substra.Nan seri a tanperati twòp, fim nan mens gen yon estrikti fib, dansite segondè, ki konpoze de kristal kolon amann, ki se estrikti a inik nan fim nan sputtering.
Sputtering presyon ak vitès fim anpile tou afekte estrikti fim nan.Paske molekil gaz yo gen efè siprime dispèsyon atòm sou sifas substra a, efè segondè presyon sputtering apwopriye pou gout tanperati substrate nan modèl la.Se poutèt sa, fim pore ki gen grenn amann ka jwenn nan gwo presyon sputtering.Fim gwosè ti grenn sa a apwopriye pou wilaj, rezistans mete, sifas redi ak lòt aplikasyon mekanik.
4、Aranje konpozisyon respire
Konpoze, melanj, alyaj, elatriye, ki apwopriye difisil yo dwe kouvwi pa evaporasyon vakyòm paske presyon yo vapè nan eleman yo diferan oswa paske yo diferansye lè yo chofe. nan substra a, nan sans sa a se yon fim pi pafè fè ladrès.Tout kalite materyèl yo ka itilize nan pwodiksyon kouch endistriyèl pa sputtering.
Tan poste: Apr-29-2022